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已知一个10倍投影物镜,物距ι1=-169.54mm,sinU=-0.05,入瞳距第一面距离ιz1=-1000mm,所用光波波长λ=0.0005893mm。试分别求用它测量薄形零件(零件厚度趋近于零)和具有一定厚度d的零件时,相对测量误差为多少?如果要求测量具有一定厚度d的零件时相对误差△y/y=1/3000,则ιz1应等于多少?
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