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三氟化氮(NF3)是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体,无色、无臭,在潮湿空气中泄露会产生白雾、红棕色气体等现象,反应方程式为:aNF3+bNF3=c +dHNO3+eHF。下列说法正确的是
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参考解答
A |
红棕色气体为NO2;根据氮元素化合价升降情况,反应不可能直接产生NO2,故反应方程式空格处物质为NO,配平反应方程式为3NF3+5NF3=2NO+HNO3+9HF |
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